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半導體無塵車間是指通過高效過濾、低溫、恒溫控制、高壓等環境控制技術，將半導體制造設備和產品放置在一個極低污染的空氣環境中的車間。 它的主要作用是防止空氣中的微小顆粒、氣體、濕度等污染物和微生物污染，以確保半導體材料、工藝和產品的質量。